2、中科飞测，康钛检测等相关的检测设备维修维护
6- 产品详情
一、服务概述
专业承接中科飞测、康钛（CAMTEK） 全系列半导体晶圆缺陷检测、光学量测、先进封装检测设备故障维修、年度维保、精度校准、板卡维修、国产化替代、设备移机调试一站式服务。团队拥有 10 年以上半导体检测设备软硬件维修经验，支持芯片级、光路级、控制级深度检修，无原厂备品时可提供逆向开发、板卡国产化替换，保障产线不停机稳定运行。
二、适配设备品牌及机型
1. 中科飞测 全系列维修维护
缺陷检测设备明场 / 暗场纳米图形晶圆缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测、三合一图形晶圆缺陷检测系列（REDWOOD、SYCAMORE、SPRUCE、SWEETGUM、ELM、FIRTREE）
精密量测设备高深宽比刻蚀量测、电子束关键尺寸量测、光学套刻精度量测、晶圆平整度量测、光学关键尺寸量测、薄膜膜厚量测、三维形貌量测（CERASUS、MAGNOLIA EBM、VIOLETOVL、GINKGO IFM、CEDAR SHAPE、PALM FILM、CYPRESS IFM）
软件及控制系统良率管理系统 DMS/YMS、缺陷自动分类系统、光刻分析控制系统整机及配套硬件维修。
2. 康钛 CAMTEK 全系列维修维护
核心检测机型Hawk 系列（HBM/Chiplets 先进封装专用）、Eagle 系列 Eagleᵀ-i、Eagleᵀ-i Plus、Eagleᵀ-AP、Eagleᵀ-AP Plus、Golden Eagle、Eagle G5
量测工作站MicroProf 系列 TL、300、200、MHU、FS、FE、AP、DI、PT；SurfaceSens、Acquire Automation XT、360°Scan 扫描模组等全机型。
三、核心维修维护服务内容
整机故障维修设备无法开机、光路异常、检测精度漂移、图像报错、伺服运动卡顿、通讯故障、系统死机、传感器失效等全故障排查修复。
精密光路 & 光学系统维护光学镜头清洁校准、激光光路准直、探测器故障修复、偏振 / 检偏组件调校、光路信号降噪，修复检测偏差、暗噪声、扫描异常等问题。
板卡 & 模块芯片级维修主控板、运动控制板、伺服驱动板、电源板、I/O 信号板、电机驱动模块、光学控制板维修；芯片级拆解更换，支持国产化替代板卡定制，1 年质保。
年度预防性维保定期整机除尘、精密机械润滑、真空系统检漏、电气参数校验、光路精度校准、软件系统巡检、易损件状态检测，出具专业维保报告。
精度校准与参数调试量测尺寸校准、套刻精度校准、三维形貌参数标定、缺陷检测阈值调试，恢复设备出厂检测精度标准。
增值配套服务设备移机拆机、安装调试、整机保养、备件供应、老旧设备改造升级、控制系统软硬件适配优化。
四、核心服务优势
精通两大品牌设备光路、电路、机械、软件全架构，快速精准锁定故障，缩短停机时间。
支持芯片级、光路级深度维修，常规故障现场快速解决，复杂板卡可寄修检修。
原厂标准工艺校准，维修后设备精度、检测性能达到出厂指标。
备件库存充足，无原厂配件可逆向开发、国产化替代改造，降本增效。
7×24 技术响应，提供月度 / 季度 / 年度全包维保合约，所有维修及替换配件享1 年质保。
五、适用行业场景
半导体晶圆制造、先进封装、Chiplets、HBM 高带宽存储、MEMS、LED、光芯片等产线检测量测设备日常运维与故障抢修。