一、服务总述

专业承接北方华创、中微公司、上海微电子三大国产半导体龙头全系列设备：刻蚀机、薄膜沉积、清洗机、炉管、光刻机、离子注入、晶圆传输及配套控制系统的故障抢修、年度预防性维保、腔体维护、光路 / 真空 / 射频系统校准、板卡芯片级维修、备件替换、国产化替代改造、移机安装调试一站式服务。

工程师团队具备十年以上国产半导体设备软硬件、工艺腔体、精密运动、光学真空系统维修经验，支持无原厂备件时逆向开发、板卡及关键部件国产化替代，保障产线高稼动率、降低维保成本。

二、各品牌适配设备与维修范围

1. 北方华创 NAURA

覆盖设备品类

• 刻蚀机：等离子深硅刻蚀、介质刻蚀、金属刻蚀、干法去胶机（PSE V300、ACE E300、NMC508、Accura RX 全系列）

• 薄膜沉积：PVD、CVD、ALD、外延设备全型号

• 工艺设备：立式 / 卧式炉管、湿法清洗机、离子注入、真空传输平台

• 关键部件：射频电源、RF 匹配器、MFC 流量控制器、真空阀门、尾气处理模块、各类主控 / 驱动 / 电源 / I/O 板卡

维修维护内容整机不开机、腔体漏气、等离子异常、刻蚀 / 沉积工艺漂移、射频匹配故障、运动轴卡顿、真空度不达标、温控失效、通讯报错、板卡烧坏；腔体拆解清洁、耗材定期更换、工艺参数校准、年度 PM 维保、备件供应与国产替代。

2. 中微公司 AMEC

覆盖设备品类

• 刻蚀设备：CCP/ICP 高深宽比刻蚀、金属刻蚀、3D NAND/DRAM 专用刻蚀机（Primo UD-RIE、Angnova、Domingo 系列）

• 薄膜沉积：原子层沉积 ALD、外延生长设备

• MOCVD：Micro LED 专用 Preciomo Udx 金属有机化学气相沉积设备

维修维护内容反应腔保养清洁、静电吸盘维修控温调校、射频系统检修、边缘组件维护、气体管路检漏、温场流场参数优化、伺服与传动机构维保、控制板卡芯片级维修、易损件更换、整机精度与工艺一致性校准，支持老旧设备性能升级改造。

3. 上海微电子 SMEE

覆盖设备品类

• 步进扫描光刻机：SSX600 系列 90nm 及成熟制程光刻机、28nm 浸没式 DUV 光刻机

• 封装 / LED/MEMS 专用光刻设备、对准平台、工件台、掩模台、晶圆传输模组

维修维护内容精密光学系统清洁与光学校准、双工件台高精度定位调校、减振系统维护、真空与微环境控制系统检修、激光光源与光路光路准直、控制主板 / 运动控制卡 / 伺服驱动板维修、整机精度标定、定期精密维保、故障停机快速抢修、兼容备件替换与国产化改造。

三、核心维修维护项目

1. 整机故障抢修处理设备黑屏死机、无法起腔、起辉异常、工艺速率漂移、良率下降、运动超程、真空泄漏、温控报警、通讯失联等各类软硬件故障。

2. 腔体与工艺系统维保刻蚀 / 沉积腔体拆解清洗、内壁涂层维护、电极与陶瓷件检测更换、O 型圈密封件定期更替、气路检漏、等离子状态调校、颗粒污染治理。

3. 射频 / 真空 / 精密光路专项维护RF 电源与匹配器维修校准、射频回路检测；真空机组保养、检漏、分子泵维修；光刻机光学镜头清洁、光路准直、对准精度标定、微振减振系统调校。

4. 板卡 & 模块芯片级维修主控板、运动控制板、伺服驱动板、电源板、高压板、I/O 信号板、温控板、电机驱动模块芯片级维修；损坏无法修复可逆向开发、国产化替代定制，质保一年。

5. 年度预防性全包维保制定季度 / 年度 PM 保养计划：整机除尘、机械润滑、电气参数校验、腔体耗材更换、光路与真空精度校准、系统软件巡检、出具完整维保报告。

6. 增值配套服务设备拆机移机、安装就位、工艺调试、老旧设备升级改造、备件批量供应、现场技术驻厂、设备操作与维护培训。

四、服务优势

1. 精通三大国产设备电路、机械、真空、射频、光学、工艺腔体全架构，快速定位故障，缩短停机时间。

2. 支持芯片级、腔体级、光路级深度维修，不依赖原厂技术封锁。

3. 维修后工艺指标、运动精度、光学对准精度恢复出厂标准。

4. 备件库存充足，稀缺件可逆向开发 + 国产化替代，大幅降低维保成本。

5. 7×24 应急响应，可签订年度维保合约，所有维修及替换配件质保 1 年。

五、适用场景

12/8 英寸晶圆制造、先进封装、3D NAND/DRAM 存储、功率半导体、MEMS、LED、车规芯片等产线，北方华创、中微、上海微电子全系列工艺设备日常运维、故障抢修、年度维保与备件国产化替代。