3、真空设备及真空镀膜机维修维护
4- 产品详情
一、半导体机器人 维修维护
NIKON 尼康机器人型号：I10、I11、I12、S204、S207、SF130、SF140、NSR-SF140说明：专业维修尼康全系列半导体搬运机器人，含整机、机芯手指部件维修，支持芯片级故障修复。
AMAT 应用材料机器人型号：VHP ROBOT、XP ROBOT说明：维修 300mm 制程轴类、CN4B、ANIS 2 等机型机器人本体及传动、控制模块。
Asyst 机器人型号：Model 21（V1.4/V1.5/V1.6 版本）说明：全版本 Asyst 晶圆传输机器人故障检修、保养及配件替换。
Brooks 布鲁克斯机器人型号：MAG7、ATR8、MAG8、MAG70版本：绿板 / 蓝板、长 Z / 短 Z、lam / 华创款、标准款、AMAT 定制款说明：分版本专项维修 Brooks 晶圆机械手，硬件故障、电路板维修及整机维护。
Genmark 机器人型号：G-Rex4、GB1E、GB4、GB4S、GB4P、GB7、GB8、GB9说明：全系列 Genmark 晶圆传输机器人维修、保养、故障定位与备件更换。
其他品牌机器人INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING INS3300、AXCELIS 全系列、KAWASAKI 川崎（NT420/410/520/510、TT210）、RORZE 乐兹（RR700/701/711/713/730/750、RR420）、YASKAWA 安川（XU-RCM350D/9206/7410）、KLA Phoenix2.0-3.0/5.0 Handler说明：覆盖日系、欧美系半导体机器人整机维修、定期维护、故障排查。
二、机器人运动控制器 维修维护
NIKON 控制器适配型号：I10、I11、I12、S204、S207、SF130、SF140，含 CR PWM、直线电机控制器说明：尼康机器人专用控制器主板、驱动板、控制回路维修。
Brooks 控制器型号：ART8、ROZAR、ESC200/PRI说明：Brooks 设备控制器故障修复、程序调试、硬件维保。
YASKAWA 安川控制器型号：XU-CM5510、XU-CM5500、SR100、NXC100-B004说明：安川运动控制器芯片级维修、整机保养、备件替代。
KAWASAKI 川崎控制器型号：30D60E、30D60F、30C63E、30D64I、30D65K说明：川崎机器人控制器驱动模块、主控板维修维护。
三、对位机 Aligner / SMIF / LoadPort 维修维护
Aligner 对位机品牌：ASYST（MODEL 5）、BROOKS、GENMARK、RORZE（RR420）说明：半导体对位设备整机维修、精度校准、定期维护。
SMIF 端口设备型号：Versaport 2200、INX2200、LPI2200、LPT2200说明：晶圆传输 SMIF 设备故障维修、主板替换、日常维保。
LoadPort 晶圆承载端口品牌：BROOKS（FIXPORT6、VESIONPORT）、TDK（TAS300）、HORITA（12C/12F）说明：LoadPort 机械结构、控制电路维修，整机保养与国产化替代改造。
四、各类板卡 & 模块 维修维护 + 国产化替代
控制主板适配：Axcelis、Brooks、ASYST（LPT/LPI/INDEXER/VERSAPORT 等）自研替代型号：AST-Indexer_Cpu_Board_V1.05、LPT/LPI/Indexer2200 专用 CPU 板等说明：提供维修、1 年质保，备件充足可提供样品，支持旧板修复与国产化替换。
运动板 / 伺服板 / I/O 板型号：AST-LPT_Motion_Board、AST-LPT_Servo_Board、AST-LPT-Cpu-48 I/O Board说明：半导体设备专用运动控制板、伺服驱动板、信号 IO 板维修及国产替代。
电机驱动模块适配 ASYST LPT 设备，原厂型号 MODEL 10A8 AANCE、C1GAA、PWR MOT说明：驱动模块故障维修、损坏更换、国产化兼容替换。
电源板 / 驱动板 / 信号板
电源板：适配 KLA-TENCOR、Yaskawa、TEL
驱动板：适配 Nikon、Brooks、Hitachi
信号 I/O 板：适配 Canon、AMAT、Nikon说明：各类工业板卡芯片级维修，无法修复时可做逆向开发、国产化替代改造。
五、核心维修能力说明
团队配备 10 年以上机器人、PCB、驱动器维修、PCB 开发资深工程师；
可快速精准锁定设备故障，支持芯片级损坏维修；
无备品、无法原厂修复时，可提供逆向开发、国产化替代改造服务；
所有维修替换板卡、模块均提供1 年质保，备件库存充足。