1. 适用场景

北方华创、中微公司、上海微电子、中科飞测等国产设备，以及晶圆传输机器人、真空机械手臂等关键自动化设备的故障维修、定期保养、性能提升。

2. 核心服务内容

• 故障快速抢修：针对设备黑屏死机、腔体漏气、射频异常、运动超程、工艺漂移等问题，提供远程诊断 + 现场抢修，快速恢复生产。

• 预防性维护（PM）：定制季度 / 年度维保计划，包含腔体清洁、光路校准、真空检漏、射频匹配调校、运动平台精度标定、易损件更换，出具完整维保报告。

• 板卡与核心部件国产化替代：对主控板、驱动板、电源板等进行芯片级维修，或逆向开发替代方案，打破原厂备件垄断，降低采购成本。

• 设备移机与安装调试：提供拆机、运输、就位、安装、工艺调试全流程服务，确保设备在新环境下快速达产。

• 老旧设备性能改造：针对服役设备，提供精度提升、软件升级、功能扩展方案，延长设备使用寿命，适配新工艺需求。

3. 方案价值

• 设备平均停机时间减少 60% 以上

• 维保成本降低 30%-50%

• 设备稼动率提升至 95% 以上